インデクサブロック and レジストカバー膜

rikokushin · 发表于 2007-3-6 01:16:56

基板処理装置は、インデクサブロック、反射防止膜用処理ブロック、レジスト膜用処理ブロック、現像処理ブロック、レジストカバー膜用処理ブロック、レジストカバー膜除去ブロック、洗浄／乾燥処理ブロックおよびインターフェースブロックを備える

这里的
インデクサブロック
レジストカバー膜

分别是什么意思呢

Kelvin_k · 发表于 2007-3-6 02:19:45

レジストカバー
Resist cover

Kelvin_k · 发表于 2007-3-6 02:20:28

是不是关于LCD的日语？

开始起跑 · 发表于 2007-3-6 02:20:39

レジストカバー膜保护膜?

kuni · 发表于 2007-3-6 18:20:28

indexer ウエハーを受けたり送ったりする部分のこと

rikokushin · 发表于 2007-3-6 18:24:10

原帖由 Kelvin_k 于 2007-3-5 18:20 发表
是不是关于LCD的日语？

不是的，是基板处理装置上面的

原帖由 开始起跑 于 2007-3-5 18:20 发表
レジストカバー膜保护膜?

是有这个意思的，但是似乎不大合适，

原帖由 kuni 于 2007-3-6 10:20 发表
indexer ウエハーを受けたり送ったりする部分のこと

这个东西的功能和对应的英语都晓得的，但是却找不到一个合适的对应的专业词汇来
那个レジストカバー膜也是这样的

kuni · 发表于 2007-3-6 19:36:36

レジストカバー膜：阻剂护膜？
インデクサブロック：引导模块？

乱猜的,仅供参考

rikokushin · 发表于 2007-3-6 20:01:42

インデクサブロック9は、各ブロックの動作を制御するメインコントローラ（制御部）91、複数のキャリア載置台92およびインデクサロボットIRを含む。インデクサロボットIRには、基板Wを受け渡すためのハンドIRH1，IRH2が上下に設けられる。

文中有这样的解释

kuni · 发表于 2007-3-6 21:07:18

装卸载（引导）部分9包含控制各个部分的主控制器91和晶片盒的载台92还包含装卸载（引导）机械手IR。IR还含有上下两个基板（晶片）转载机械手IRH1，IRH2。

[ 本帖最后由 kuni 于 2007-3-6 13:28 编辑 ]

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